空氣過(guò)濾器典型使用場(chǎng)所分析

　　1 芯片廠(chǎng)

　　當今，半導體芯片廠(chǎng)對生產(chǎn)環(huán)境空氣潔凈程度挑剔，對空氣過(guò)濾器的要求也苛

　　刻。粘在芯片上的粉塵可能造成斷路、短路而直接影響成品率。

　　芯片廠(chǎng)用的高效過(guò)濾器和風(fēng)機過(guò)濾單元（FFU）出廠(chǎng)前要經(jīng)過(guò)掃描測試。芯片廠(chǎng)不認鈉焰法和DOP法的帳。芯片廠(chǎng)特別在意過(guò)濾器上可能的微量揮發(fā)元素。近幾年出現了聚四氟乙烯PTFE纖維高效過(guò)濾材料，這種材料沒(méi)有揮發(fā)物，但它帶靜電，過(guò)濾后的空氣要進(jìn)行電中和以消除離子，少了個(gè)隱患，多了個(gè)麻煩。

　　但當芯片的線(xiàn)寬小到0.5um時(shí)，人們發(fā)現空氣中的化學(xué)污染物成了影響成品率的主要危害，于是，后建的芯廠(chǎng)空調系統中普遍配置了化學(xué)過(guò)濾器。芯片廠(chǎng)說(shuō)的化學(xué)過(guò)濾器就是活性炭過(guò)濾器，它的原理和制造工藝并不復雜。許多情況下，設計師和現場(chǎng)人員也說(shuō)不清污染物的種類(lèi)和濃度，因此，芯片廠(chǎng)用的化學(xué)過(guò)濾器應具有兩個(gè)特點(diǎn)：廣譜吸附性能、足夠多的吸附材料。如果能確定污染物種類(lèi)，就可對吸附材料進(jìn)行有針對性的化學(xué)處理，以增強對特定污染物的吸附能力。過(guò)濾器供應商有時(shí)還要提供相應的現場(chǎng)檢測服務(wù)，以幫助用戶(hù)確定化學(xué)過(guò)濾器的使用情況，這就要求供應商中有搞化學(xué)過(guò)濾的專(zhuān)家，并與權威實(shí)驗室有密切的關(guān)系。

　　半導體工業(yè)并非“無(wú)煙工業(yè)”，它也有環(huán)境問(wèn)題。為降低環(huán)境風(fēng)險，有些芯片廠(chǎng)的排風(fēng)系統也裝有化學(xué)過(guò)濾器。

　　2 機場(chǎng)空調系統

　　飛機場(chǎng)是賓客對城市的第一印象，機場(chǎng)空調系統表明主人的實(shí)力和空調設計師的水

　　平。在發(fā)達大型機場(chǎng)的空調系統中，空氣過(guò)濾器常見(jiàn)配置為：

　　G4～F6預過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→F7末端過(guò)濾器

　　F7過(guò)濾器（Ashhae Dust-spot 85%）是上檔次的公共場(chǎng)所中常見(jiàn)過(guò)濾器。經(jīng)過(guò)F7過(guò)濾器后，空氣含塵濃度可以達到旅游景區的水平。標準中規定候機廳可吸入顆粒物的濃度上限為0.15mg/m3，這是從衛生角度考慮的低要求，機場(chǎng)室外空氣也比這個(gè)濃度低．設計中，機場(chǎng)空調考慮的是檔次，而不僅僅是衛生．